采用真空冲洗系统的调蓄池由存水室、雨水储存区和冲洗水排放区组成。根据池型可以在一个调蓄池中设置一个或多个存水室，可由一套真空抽吸系统控制，但是保持独立运行。

真空冲洗系统由存水室、真空隔膜阀、真空泵和电控系统组成。当液位监测系统监测到调蓄池内水位升高时，控制系统使真空隔膜关闭并启动真空泵开始对存水室抽真空，使存水室内液位达到冲洗液位，此时真空泵关闭，存水室内水头将长期保持此高度。当监测到调蓄池排空时，控制系统使真空隔膜阀打开。存水室内真空度被破坏，冲洗水从存水室冲出，对调蓄池底部进行强效冲洗。